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透射电子显微镜的结构

2021-05-08 16:36:18

透射电子显微镜的结构


透射电子显微镜(TEM)是使用一束平行的高能电子束通过一片非常薄的试样,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。它们基本上都是由三个部分组成:电子光学系统、真空系统和电器系统。

其中电器系统和真空系统是辅助系统。电器系统包括高压电源、透镜电源、真空系统电源、控制线路电源和其它部件。

电镜的真空系统用来维持镜筒(凡是电子运行的空间)的真空度,以确保电子枪电极间绝缘,防止成像电子再镜筒内受气体分子碰撞而改变运动轨迹,减小样品污染等。

电子光学系统是透射电子显微镜结构中核心部分,通常称为镜筒。镜筒一般为直立积木式结构,类似于标准直立的透射电学显微镜。在镜筒中自上而下分别是:电子枪、聚光镜、样品室、物镜、中间镜和投影镜,最下部是荧光屏和照相记录系统。通常我们将镜筒分为照明、成像和观察记录三个系统。电子枪和聚光镜归于照明系统,样品室、物镜和中间镜是成像系统,荧光屏和照相记录装置则是成像和观察系统。镜筒的复杂程度主要取决于对透射电子显微镜工作性能的要求。透射电子显微镜的工作性能越高,其镜筒越复杂,这主要体现在透镜的数量和合轴系统的不同。


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